中國研製成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻裝備

發布日期:2018-11-29 瀏覽次數:441

中國研製成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻裝備

11月29日,由中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備——超分辨光刻裝備項目在成都通過驗收,作為項目重要成果之一,中國科學家研製成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備,並形成一條全新的納米光學光刻工藝路線,具有完全自主知識產權。據介紹,中科院光電所超分辨光刻裝備項目組經過近7年艱苦攻關,突破了多項關鍵技術,完成國際上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備研製,其采用365納米波長光源,單次曝光最高線寬分辨力達到22納米。圖為中科院光電所超分辨光刻裝備項目副總設計師楊勇(左)介紹裝備整機。

 

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