中國開展22納米集成電路關鍵工藝技術先導攻關

發布日期:2016-6-16 瀏覽次數:2991

  中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心的科研團隊艱苦攻關,成功開展22納米關鍵工藝技術先導研究與平台建設,在我國首先開展該技術攻關。

  二三十張年輕的麵孔準時出現在中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心(以下簡稱集成電路先導中心)的一間會議室內。

  閆江清點到場的年輕工程師後,開始例行晨會。

  “設備是否全部運行正常?測試的器件特性是否與設定值相同?”

  “小唐,你昨天的實驗進展如何?是否遇到難題?”

  ……

  每天晨會,所有到場的工程師都必須匯報實驗進程。此時的閆江,臉上隨和的笑容早已被一絲不苟的神情“趕走”,事無巨細地詢問著每一個人。

  數月後,在接受《中國科學報》記者采訪時,中科院微電子所研究員閆江回憶起這些工作細節,當時那種所有人充滿幹勁而又緊張投入的狀態令他至今難以忘懷。

  “高配”團隊迎挑戰

  作為集成電路先導中心特聘的“千人計劃”專家,閆江參與了一場與時間的賽跑:在國家科技重大專項02專項的支持下,開展22納米先導工藝研發。

同時參與這場“賽跑”的,還有中科院微電子所所長執行顧問、“千人計劃”專家、研究員楊士寧和集成電路先導中心主任、“千人計劃”專家、研究員趙超以及先導中心首席科學家、“千人計劃”專家、研究員朱慧瓏。

  在他們的前期忙碌後,一條擁有53台套大型設備的8英寸研發線終於開始運行。

  接下來的重頭戲是閆江帶領團隊進行工藝整合與集成,將22納米工藝器件研發出來。

 

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