Venus2000檢測係統
支持:
》線寬/套刻/缺陷三合一功能
》0.5um以上線寬量測
》用戶自定義缺陷檢測
》提供校準補償功能
》全自動聚焦功能
》反射與透射測量功能
》雙屏顯示器同時操作功能
產品介紹:
柠檬直播平台下载二维码Venus2000檢測設備可滿足半導體製程中的光學檢測需求,同時具有套刻、線寬和缺陷檢測三種功能,可滿足90nm工藝節點的套刻測量,0.5um以上的線寬測量及用戶自定義的缺陷檢測。Venus係列產品采用先進的圖形處理技術和成像係統,具有測量精度高、速度快、應用靈活等特點,主要應用於半導體工藝、微納加工、MEMS、LED等領域中的良率控製。
指標