Mars 9 直接成像係列
功能簡介:
超精密量產選擇,用於IC載板、高密度板等
特點:
Mars 9係列機型是業界領先的直接成像(DI)解決方案,是一款專為IC載板、軟板等超細線路設計的直接成像設備。Mars 9S係列集合了津芯自主研發的光學係統、機械係統和控製係統,配合超高精度的運動平台係統,實現了更高的解析能力的同時,又兼顧了高對位精度和高產能的需求。
本係列可搭配高功率的激光光源,以適應防焊油墨的要求。
產品優勢:
對位精度:
• ±8um的出色對位精度,可滿足高對位精度要求
• 采用超高精度運動平台
• 支持多種漲縮模式,支持分區域對位,解決板子變形帶來的品質異常,提升產品良率
和生產效率
-自動漲縮
-固定漲縮
-智能分段漲縮
-分區域對位
卓越的成像品質:
• 采用津芯自主設計的精密光路係統,可達到20um/20um的線寬線距解析度
• 超高的景深範圍,確保在高低差的板麵達到很好的成像品質
• 采用成熟的DMD技術,確保品質穩定性
• 支持料號自動編輯功能
• 與CAM直接對接,支持ODB++、Gerber274X、Gerber274D
• 多種格式,高效高速
• 支持多種自動化方案:
• 可根據客戶需求,提供多種自動化方案,減少人為因素帶來的不良,
• 提升產品品質、提高生產效率、降低成本
-1台LDI+1台機器人
-2台LDI+1台機器人
-2台LDI+2台機器人
• 支持條形碼和二維碼
產品參數:
SEM效果:
1.5um線路SEM效果